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Lam Research 与法国 CEA-Leti 宣布扩大研发合作,重点推进面向先进半导体制造的特殊工艺技术开发。双方将围绕关键设备与工艺创新展开更深入协作,参与方包括 Lam Research 和 CEA-Leti,目标是提升相关制造能力并加速新技术落地,对半导体产业链的技术升级具有推动作用。

Lam Research 与法国 CEA-Leti 扩大研发合作,聚焦推进特殊工艺技术的制造能力,双方将继续围绕先进半导体制造开展联合研究。此次合作涉及 Lam Research 和 CEA-Leti 的技术团队,目标是提升相关设备与工艺创新,加速面向特定应用的芯片制造进展。

CEA-Leti 博士生 Sandra Kozuch 在 AVS 会议上凭借氮化镓(GaN)像素侧壁无损刻蚀工艺获奖,她与设备商 Lam Research 合作开发了一种控制聚合物层沉积的 CH₄/H₂/Ar 等离子刻蚀新机制。这项技术可改善微型发光二极管(micro-LED)的电光效率,对增强现实

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