Optomechanical sensors, merging MEMS and silicon photonics, outperform traditional sensors and suit applications like portable biosensors, ultra-sensitive mass spectrometers, atomic force microscopes, and precision silicon clocks. CEA-Leti’s LUMIK technology now makes this breakthrough accessible for prototyping. Through the CIME-P website, external parties can submit their sensor designs. Prototyping is cost-effective thanks to a Multi-Project Wafer (MPW) scheme: a single wafer is shared among multiple projects, reducing costs, and each participant receives only their own chips. The deadline for the first MPW batch is 20 November 2026; CEA-Leti will then evaluate the submissions. Meanwhile, the institute continues to develop LUMIK, focusing on biosensors and atomic force microscopes in partnership with CEA and CNRS.

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Lescapteurs optoméc​aniquesreposent sur une association entre la technologie MEMS* et la photonique sur silicium. Une combinaison qui leur permet d'afficher des performances nettement supérieures à celles des capteurs traditionnels.

L'optomécanique se prête ainsi particulièrement à des applications telles que des biocapteurs portables, des spectromètres de masse extrêmement sensibles, des microscopes à force atomique, ou encore des horloges de référence en silicium de très haute précision.

C'est cette innovation de rupture, encore émergente, qui est à présent accessible grâce à la technologie LUMIK, développée par le CEA-Leti.

Ceux-ci ont désormais la possibilité de prototyper leur propre capteur optomécanique via LUMIK. Pour cela, il leur suffit de déposer une demande surle site de CIME-P, partenaire commercial du CEA-Leti.

De plus, cette nouvelle offre peut proposer un prototypage à coût avantageux grâce à une approcheMulti-Project Wafer(MPW). Elle consiste à diviser la plaque utilisée lors de la fabrication en plusieurs parties, chacune étant réservée au projet d'un partenaire, de sorte à mutualiser les coûts de production. Une fois toutes les puces fabriquées, la plaque est alors découpée et chaque partenaire reçoit ses puces, sans jamais avoir accès aux designs des autres demandeurs.

Pour faire partie du premier lot de fabrication, les acteurs intéressés ont jusqu'au 20 novembre 2026 pour soumettre leur design de capteur. Les demandes seront alors étudiées par le CEA-Leti, qui, en parallèle, continue de travailler sur la technologie, avec notamment deux axes majeurs de développement : les biocapteurs et les microscopes à force atomique, en partenariat avec le CEA et le CNRS.

*MEMS : microelectromechanical systems, microsystèmes électromécaniques*design : conception*Multi-Project Wafer : plaque multiprojet​